積體電路與微機電產業 你的需求好書
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內容簡介
1958年美商德州儀器公司的科學家Jack Kilby製作出全球第一顆「積體電路(IC：Integrated Circuit)」，造就了半個世紀以來電子產業的篷勃發展，到了1990年代，開始有科學家把機械元件與光學元件，整合積體電路製作成單一晶片，稱為「微機電系統(MEMS：Micro Electro Mechanical Systems)」，最近由於人機介面(HMI：Human Machine Interface)的發展，微機電系統(MEMS)扮演愈來愈重要的角色，包括微加速度計、微陀螺儀、微地磁計、微機電系統麥克風、微機電系統射頻等，成為新興的科技產業，後來進入2000年代，微製造產業突飛猛進，尺寸愈來愈小，才發展出「奈米科技(Nanotechnology)」，本書將由淺入深介紹積體電路、微機電系統、奈米科技等相關的技術原理與發展趨勢。
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